博士学位论文预答辩信息如下：

时间：2025年4月27日10:00

地点：电院群楼2-410

答辩人：蓝科

导师：陈彩莲

论文题目：

精密设备对准系统的精度分析及控制研究

论文内容：

第一章：绪论

第二章：视觉对准传感器原理及方法

第三章：对准精度体系

第四章：精度控制方法一：波像差在线测量及影响补偿

第五章：精度控制方法二：不确定离焦测量与补偿

第六章：精度控制方法三：工艺适应性研究

第七章：实验验证结果与讨论

第八章：全文总结

关键词：

机器视觉、对准、波像差测量、离焦